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四探针电阻率测试仪

发布者::admin  发布时间: :2016-03-01 14:12  浏览次数: :
产品介绍:
详细说明:

CMT-5000高精密全自动四探针面电阻和电阻率测试仪是由韩国标准科学研究院和韩国AIT公司共同开发的,是半导体生产过程中必不可少的设备之一!

主要特点:
-硅片全自动面电阻和电阻率测量;
-远程PC控制自动测量;
-整合XYZ三轴自动系统;
-自动测量范围选择;
-达8inch硅片测量,太阳能电池150mmX156mm;
-数据分析(2D,3D Map,数据Map等);
-
ASTM & SEMI快速测量模式选择;

技术规格:
*面电阻测量:
  -测量模式: 四探针接触
  -测量范围: 1 mohm/sq ∼ 2 Mohm/sq
*电阻率测量:
  -
测量模式: 四探针接触(输入厚度)
  -测量范围:10.0 μohm·cm ∼ 200.0 kohm·cm
*电流源:
  - 10nA to 100mA
  - DVM 0V to 2,000mV
*测量精度:± 0.5 % (VLSI standard wafer, when 23°C)
*四探针:
  -探针间距: 25 mils ∼ 50 mils by 5mil increments
  -探针载荷: 10 gram/pin ∼ 250 gram/pin
  -探针半径: 12.5 micron∼500 microns (polished 2μ diamond)
  -公差: ± 0.01 mm
  -探针: Solid Tungsten Carbide φ0.40 mm
*测量软件:
  -测量条件建立: Wafer type, measure point interval,test
mode etc.
  -数据保存和加载: data, wafer type, measure point, etc.
  -数据分析: 2D, 3D mapping, data map, etc.
  -控制: Remote, vacuum
  -Data & mapping printout
*测量模式:
  -自动测量: Point interval designation by user
  -快速测量: ASTM & SEMI mode
  -点测量: Appointment on wafer by mouse
  -手动测量: Appointment on wafer by arrow key
*样品尺寸:
-硅片最大300mm (方形: 210mmX210mm)

*安装要求:
-电源要求(1 Line):110V or 220V ± 10%,40W,500mA,50/60Hz;
-压缩空气
(1 Line):About 5kg/㎠,直径6mm气管
-真空要求:气压500Torr,气管直径4mm;

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