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产品介绍:

桌面型原子层沉积系统

发布者::giantforce  发布时间: :2019-04-04 14:18  浏览次数: :
产品介绍:
详细说明:

桌面型原子层沉积系统由哈佛大学纳米科学中心薄膜沉积工艺研究首席科学家Dr. Philippe de Rouffignac设计,基于多年纳米薄膜制备的丰富经验以及对科研工作者切实研究需要的了解,推出了此桌面型、高性能的原子层沉积系统。首台设备自2015年在CNS安装以来,到目前为止已有超过1500人次使用,人性化的设计、便捷的操作和优质的成膜工艺,赢得了众多科研工作者的赞誉。

主要特点
1. 腔室专为R&D设计和优化,样品尺寸达直径4’’;
2. 反应腔温度可控范围:RT-350℃;
3. 前驱体源温度可控范围:RT-150℃;
4. 腔室处理压力可控范围:0.1-1.5 torr;
5. 源扩展多达5个;
6. 快速循环处理功能;
7. 气路最优化设计、腔体小型化设计;
8. 一分钟多达6-10;
9. 成熟的薄膜Recipes内置程序;
10. 触屏PLC控制;
11. 可配套手套箱使用;
12. 可配备臭氧发生器;

可处理材料:

 

MATERIAL CLASS

STANDARD RECIPES

RECIPES IN DEVELOPMENT

SYSTEM CAPABLE MATERIALS

Oxides (AxOy)

Al, Si, Ti, Zn, Zr, Hf

V, Y, Ru, In, Sn, Pt

Li, Be, Mg, Ca, Sc, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Ga, Sr Nb, Rh, Pd, Sn, Ba, La, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd

Elementals (A)

Ru, Pd, Pt, Ni, Co

Rh, Os, Ir

Fe, Cu, Mo

Nitrides (AxNy)

Zr, Hf, W

Ti, Ta

Cu, Ga, Nb, Mo, In

Sulfides (AxSy)

   

Ca, Ti, Mn, Cu, Zn, Sr, y, Cd, In, Sn, Sb, Ba, La, W

Other Compounds

AZO (AL:ZnO), AxSiyOz ()A=Al, Zr, Hf

YSZ (yttria stabilized sirconia) ITO

Many others

 


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