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【产品介绍】kSA MOS Ultra Scan离线薄膜应力测量系统

发表时间:2024-12-26 15:54



kSA MOS Ultra Scan离线薄膜应力测量系统:对薄膜的应力、表面曲率和翘曲进行准确的测量,还可对二维应力

Mapping成像统计分析;同时准确测量应力、曲率随温度变化的关系。



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