激光光束质量分析仪

UV紫外/EUV极深紫外激光光束质量分析仪根据现行ISO标准获取和评估激光束轮廓，实现高分辨率实时空间光束的监测、定量表征与强度分布。主要针对准分子激光器设计，用于所有脉冲或连续波激光器以及非相干光源，覆盖极宽的光谱范围从近红外到软X射线（光谱范围~ 1 …. 1100 nm），检测器CCD芯片上量子转换涂层保证了UV/EUV检测的高灵敏度。为了满足有关激光束参数（波长、光束尺寸、功率、重复率）的广泛特定要求，我们提供了多种不同类型的相机，可实现客户特定的解决方案。

配置各种不同类型的传感器CMOS和CCD（大/小面积、高度、空间分辨率、灵敏度和动态范围）可适配多种指定测试应用场景。软件支持外围器件

（如自适应镜片、步进马达、衰减器、快门或者功率检测等），实现远程或者自动测量。

别名：激光束分析仪、光束质量分析仪、光束分析仪、光斑分析仪、激光束质量分析仪

主要功能

        依据 ISO11146 检测光束参数

        依据 ISO11670 指向稳定性诊断

        依据 ISO13694 分析光束形状

        M²光束质量因子分析

        脉冲 to 脉冲波动检测

        光束传播和聚焦性能分析

        在线激光束检测

        激光运行参数优化

测试和分析软件“MrBeam”被开发在哥廷根激光实验室，并且与标准化委员会长期合作，测试依据目前ISO标准对光束特性进行全面表征。

主要特点

        宽光谱范围~ 1 …. 1100 nm (NIR, Vis, UV, EUV, (soft)x-Ray)

        传感器：CMOS，CCD

        传感器检测面积：36mmX24mm

        像素数量：达16MPixel

        空间分辨率：>几个微米

        高动态范围：12bit~16bit

        通讯方式：USB2.0，USB3.0 or GigE通讯

实测参考

光束测试软件

测试基于ISO标准